三坐标的导轨与轴承结构

气浮导轨

1.导轨的作用：是保证机器平稳、高精度运动的关键。

2.导轨的类型：

1）气浮导轨

2）直线滚珠导轨

3.气浮导轨的行状：

1）矩形导轨

2）三角形导轨

3）燕尾型导轨

1.气浮导轨工作原理：气浮导轨的核心是空气轴承。利用空气轴承小孔r1节流形成气腔内的高压P0，在导轨和空气轴承间形成具有一定承载能力和刚性的薄膜h。

2.空气轴承的性能有要求：承载能力，承载刚性（气浮间隙每变化一微米承载能力的变化），耗气量，抗气振能力。对超高精度测量机，气浮间隙及气腔压力的稳定至关重要。

气浮导轨的优点：具有无磨擦及无磨损的特性，由于匀差效应，运动的局部直线度及角度摆动能较小，精度较高的测量机一般采用气浮导轨。

直线滚珠导轨

1.采用直线滚珠导轨的优点：省去全套压缩空气设备及气动控制组件，成本较低，适于应用无气源的环境；刚性较好，承载能力强；比简单的滚珠轴承来讲，受个别滚珠疵瑕的影响要小，有一定的匀差效应

2.采用直线滚珠导轨的缺点：由于钢球及导轨原因，该结构的测量机精度稍低,摩擦力较大；另外它的安装、调整找正对整机的性能的影响亦较大。